Es ist wie bei der EUV-Lithografie: eine nahezu unendliche Geschichte. Doch während sie bei der EUV-Lithografie jetzt zu einem guten Ende kommt, ist der Ausgang bei den 450-mm-Wafern ein anderer: Sie liegen vorerst komplett auf Eis, eine wirtschaftliche Umsetzung ist derzeit nicht absehbar. Dabei waren die Pläne einmal groß.
