26.11.2014 14:46 Uhr, Quelle: Heise

EUV-Lithographie steht mal wieder kurz bevor

Die Belichtung von Chips mit Licht aus dem extremen UV-Bereich soll noch feinere Strukturen als bisher ermöglichen, bringt jedoch Probelme mit sich. Ab 2016 könnte es aber endlich mit der Serienfertigung losgehen.

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