24.11.2014 17:55 Uhr, Quelle: ComputerBase

ASML: EUV-Lithografie für 10- bis 3-nm-Fertigung

Zum Auftakt des Investor Days hat der niederländische Fabrikausrüster ASML einen weiteren Auftragseingang für EUV-Systeme vermeldet. TSMC wird bereits im kommenden Jahr zwei zusätzliche NXE:3350B erhalten, die beiden bereits ausgelieferten NXE:3300B sollen zeitgleich zu NXE:3350B aufgerüstet werden.

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