22.02.2010 14:05 Uhr, Quelle: ComputerBase

TSMC bekommt EUV-Lithografie-System

ASML, der weltweit größte Hersteller von Lithografiesystemen für die Halbleiterbranche, hat die Lieferung eines EUV-Lithografie-Systems vom Typ Twinscan NXE:3100 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC), den weltweit größten unabhängigen Auftragsfertiger für Chips (Foundry), bekannt gegeben.

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