03.09.2026 17:18 Uhr, Quelle: Heise
Chef der Halbleitersparte von Zeiss: China 15 Jahre von EUV-Lithografie entfernt
Wie weit ist China bei der Entwicklung eigener Lithografietechnik für die Chipproduktion? Der Chef von Carl Zeiss SMT sagt, man sei „immer noch weit vorne“.
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