28.05.2025 11:36 Uhr, Quelle: ComputerBase

Kein Bedarf an High-NA EUV: Mehrfachbelichtung mit EUV ist bis 2029 TSMCs Zielvorgabe

Zum TSMC 2025 European Technology Symposium hat das Unternehmen einmal mehr betont, noch lange ohne High-NA-EUV auskommen zu können. Der Schlüssel liege in der Mehrfachbelichtung mit klassischem „Low-NA“ EUV. Mit dem Fertigungsprozess wurde so viel Erfahrung gesammelt, dass das noch mindestens vier Jahre funktionieren wird.

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