12.08.2024 10:54 Uhr, Quelle: golem

Halbleiterfertigung: ASMLs High-NA-EUV-Belichter schaffen erste Rekorde

High-NA EUV schafft mit einer Belichtung kleinere Strukturen als aktuelle Halbleiterprozesse. Auch Speicher soll weiter schrumpfen. (Halbleiterfertigung, Intel)

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