Der größte Auftragshersteller für Chips, TSMC, hat eine Roadmap für künftige Fertigungstechnologien vorlegt. Ende 2013 sollen erste 16-Nanometer-Chips mit FinFET-Transistoren hergestellt werden, für 10-Nanometer-Bausteine soll EUV-Belichtung verwendet werden. (Prozessor, Technologie)
