ASML, der weltweit größte Hersteller von Lithografiesystemen für die Halbleiterbranche, hat die Lieferung eines EUV-Lithografie-Systems vom Typ Twinscan NXE:3100 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company (TSMC), den weltweit größten unabhängigen Auftragsfertiger für Chips (Foundry), bekannt gegeben.