ASML hat nicht nur ein gutes Quartal vermeldet, sondern zusammen mit Intel auch die Serienreife von High-NA-EUV-Belichtern erklärt. Dies wurde an mehreren Layern bei aktuellen Intel-18A-Produkten getestet und bereits dort als praktikabel bezeichnet. Für die echte Großserie reichen die Belichter aber noch nicht aus.
