Der bereits mehrfach verschobene 1,4-nm-Prozess von Samsung könnte 2029 unter Nutzung von High-NA-EUV starten, schreiben koreanische Medien. Nachdem Samsung die Ausbeute bei 3 nm und 2 nm stabilisiert hat, soll nun der Zukunftsfahrplan wieder stärker in den Fokus rücken. High-NA könnte ein Vorteil sein – aber nicht pauschal.
