24.03.2026 13:54 Uhr, Quelle: golem

Lace Lithography: 40 Millionen US-Dollar für Post-EUV-Lithografie-Start-up

Ein norwegisches Start-up sieht in Strahlen metastabiler Atome die Zukunft der Halbleiterfertigung. Das komplexe Konzept könnte EUV beerben. (Physik, Halbleiterfertigung)

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