20.03.2026 11:45 Uhr, Quelle: golem

EXE5200B: Forschungszentrum Imec erhält neuesten High-NA-EUV-Belichter

Am Imec werden mit ASMLs modernstem Belichter Sub-2nm-Prozesse entwickelt. Der Twinscan EXE:5200B ist für die Serienfertigung ausgelegt. (Halbleiterfertigung, ASML)

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