24.02.2026 18:45 Uhr, Quelle: golem

Für höheren Wafer-Durchsatz: ASML steigert EUV-Lichtleistung auf 1.000 W

EUV-Belichter nutzen bereits beeindruckende Technik - und ASML macht sie noch beeindruckender. Damit sollen stündlich 330 Wafer belichtet werden. (ASML, Wirtschaft)

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