ASML will die Leistungsfähigkeit der Lichtquelle in EUV-Systemen deutlich verstärken. Auf 600 sollen nun 1.000 Watt folgen – später gar bis zu 2.000 Watt; zumindest sei dieser Weg schon ziemlich gut erkennbar, erklärt ASML. Der erste Schritt soll jedoch möglichst schnell umgesetzt werden.
