09.02.2026 15:27 Uhr, Quelle: Heise
Chipforschung: Europas Imec bekommt High-NA-EUV-System
Europäische Forscher und Unternehmen bekommen Zugriff auf das modernste Lithografie-System der Welt. Das Imec weiht einen passenden Reinraum ein.
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