26.11.2020 11:09 Uhr, Quelle: golem

Deutscher Zukunftspreis 2020: Team hinter EUV-Lithographie ausgezeichnet

Ohne deutsche Forscher von Fraunhofer, Trumpf und Zeiss gäbe es keine Halbleiterfertigung mit extrem ultravioletter Belichtung (EUV). (Halbleiterfertigung, TSMC)

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