Bundespräsident Walter Steinmeier hat ein Forscherteam von Zeiss, Trumpf und dem Fraunhofer Institut mit dem Zukunftspreis für ihre Entwicklung der EUV-Lithografie ausgezeichnet. Ohne die Technik der deutschen Entwickler könnte die einzige Firma der Welt, ASML, ihre Belichtungssysteme für Halbleiterfabriken nicht bauen.
