26.11.2020 08:19 Uhr, Quelle: ComputerBase

Deutscher Zukunftspreis: Forscher-Team um Zeiss gewinnt für EUV-Lithografie

Bundespräsident Walter Steinmeier hat ein Forscherteam von Zeiss, Trumpf und dem Fraunhofer Institut mit dem Zukunftspreis für ihre Entwicklung der EUV-Lithografie ausgezeichnet. Ohne die Technik der deutschen Entwickler könnte die einzige Firma der Welt, ASML, ihre Belichtungssysteme für Halbleiterfabriken nicht bauen.

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