26.03.2020 08:00 Uhr, Quelle: golem

EUV-Halbleiterfertigung: ASML bereitet sich auf High-NA-Belichtung vor

Trotz Mask-Stitching sollen 185 Wafer pro Stunde von den ASML-Steppern belichtet werden können. (ASML, Prozessor)

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