EUV-Halbleiterfertigung: ASML bereitet sich auf High-NA-Belichtung vor

26.03.2020 08:00 Uhr, Quelle: golem

Trotz Mask-Stitching sollen 185 Wafer pro Stunde von den ASML-Steppern belichtet werden können. (ASML, Prozessor)