Vor drei Monaten hat ASML eine Erhöhung der Leistung der EUV-Systeme in Aussicht gestellt, jetzt liefert der Fabrikausrüster. Dies soll vor allem Kundschaft in der DRAM-Fertigung locken. Mit einer Simulation von 2.000 DRAM-Wafern pro Tag soll die Einsatzbereitschaft bald gewährleistet sein.
