26.07.2017 14:19 Uhr, Quelle: golem

Chipmaschinenausrüster: ASML demonstriert 250-Watt-EUV-System

Bis zu 125 Wafer pro Stunde: ASML hat mit einer Twinscan-Maschine eine Strahlungsleistung von 250 Watt erreicht. Das ist wichtig für die extrem ultraviolette Belichtung, die beim 7-nm-Verfahren von Chipfertigern eingesetzt wird. (ASML, TSMC)

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