15.07.2016 17:37 Uhr, Quelle: golem

Halbleiterfertigung: TSMC will den 5-nm-EUV-Prozess ab 2020 starten

In vier Jahren möchte der Auftragsfertiger TSMC seine Chip-Produktion auf eine Lithografie mit extremer ultravioletter Strahlung umstellen. Neue Maschinen vom Ausrüster ASML wurden bereits geordert. (TSMC)

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