ASML übernimmt die taiwanische Firma Hermes Microvision Inc. (HMI) für 100 Milliarden New Taiwan Dollar. Diese sind spezialisiert auf das Testen und die Fehlererkennung von Wafern und Chips und passen so laut ASML perfekt zu den angestrebten Zukunftszielen – EUV und eine Fertigung von 10, 7 und 5 nm kleinen Strukturen.