Während der Fokus in der Forschung in erster Linie auf EUV liegt, wird mit jedem Jahr deutlicher, dass die klassische Immersionslithografie noch länger benötigt wird, als ursprünglich geplant. Nikon, neben ASML der größte Zulieferer dieser Maschinen, bringt deshalb einen neuen Scanner auf den Markt, der für 7 nm ausgelegt ist.
