21.01.2016 12:28 Uhr, Quelle: golem
Fertigungstechnik: EUV wird so schnell nicht serienreif
Dem Fab-Ausrüster ASML zufolge reift die EUV-Lithographie, jedoch nicht so zügig wie erhofft. Ein Test bei Auftragsfertiger TSMC zeigte eine geringe Ausbeute, bald folgen aber bessere Belichtungssysteme. (Prozessor, Intel)
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