30.04.2012 15:05 Uhr, Quelle: Heise
Optimierte SOI-Wafer für 28-, 20- und 14-nm-Fertigungstechnik
Die Firma Soitec kündigt "Fully Depleted"-Wafer für planare und 3D-Transistoren an, während sich Globalfoundries für die Fertigung von Though-Silicon Vias bei den in einigen Jahren erwarteten 20-nm-Chips rüstet.
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