Der niederländische Konzern ASML als weltgrößter Hersteller von Lithografiesystemen hat sich in zwei Veranstaltungen zum aktuellen Stand der nächsten Generation von Belichtungssystemen für Wafer, der sogenannten „extreme ultraviolet“ (EUV), geäußert. Demnach hat der Konzern bereits zehn Bestellungen erhalten für 2012 erhalten.
