TSMC soll laut Medienberichten noch in diesem Monat das erste High-NA-EUV-System in Empfang nehmen, sodass die Aufbauarbeiten starten können. Nach entsprechender Kalibrierung sowie vielen weiteren Puzzlesteinen, die bei solch einer großen Maschine benötigt werden, dürfte ab Anfang 2025 dann der Einsatz starten.
