28.06.2024 12:09 Uhr, Quelle: golem
(g+) Halbleiterfertigung: Wie Multi Patterning die Physik überlistet
Ohne Multi Patterning wäre Moores Law bereits vor Jahren gestorben. Wir erklären eine der wichtigsten Techniken der Halbleiterfertigung. Von Johannes Hiltscher (Halbleiterfertigung, TSMC)
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