17.06.2024 13:00 Uhr, Quelle: golem

Für Sub-1nm-Prozesse: ASML arbeitet an Hyper-NA für EUV-Belichter

Die Überlegungen werden konkret: ASML arbeitet an EUV-Belichtern mit numerischer Apertur von 0,75. Die Herausforderungen sind immens. (Halbleiterfertigung, ASML)

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