Alle Blicke bei ASML gehen zuletzt auf das neue High-NA-EUV, aber das Brot- und Butter-Geschäft ist das klassische EUV. Hier gibt es Neues, denn erstmals wurde ein Belichtungssystem der Generation Twinscan NXE:3800E an einen Kunden ausgeliefert. Dieses dürfte für den Einsatz bei kommenden 3-nm- und 2-nm-Chips gedacht sein.
