ASML meldet ein Rekordjahr, doch die Anzahl der ausgelieferten EUV-Systeme bleibt hinter den Erwartungen zurück. Nachdem im Jahr 2019 26 von geplanten 30 Systemen ausgeliefert wurden, steigerte der Hersteller die Zahl auf 31 Systeme im Jahr 2020. Prognostiziert waren jedoch bis zu 35 Maschinen.
