TSMC betreibt bereits weltweit die meisten EUV-Systeme, legt nun laut Brancheninsidern mit einer großen Bestellung aber noch nach. Der Großteil der rund 16 bestellten Systeme bei ASML soll schon 2021 geliefert werden und sowohl für den Ausbau der 5-nm-Fertigung, als auch der Vorbereitung für die 3-nm-Produktion genutzt werden.
