Nur 26 statt geplanter 30 EUV-Einheiten hat ASML im Jahr 2019 ausgeliefert, doch die fehlenden vier sollen in Kürze folgen. Für das Gesamtjahr 2020 plant ASML die Lieferung von insgesamt 35 EUV-Lithografiesystemen der neuesten Bauart NXE:3400C, die mehr und mehr zu einem der wichtigsten Geschäftsfelder werden.
