Huaweis Halbleitersparte HiSilicon soll der Erstkunde von TSMCs Produkten unter Nutzung von EUV-Lithografie sein. Ab 2019 wird bei der Foundry ein spezieller 7-nm-Prozess (N7+) erstmals zum Teil auch mit EUV belichtet, eh ab 5 nm (N5) verstärkt darauf gesetzt wird.
