ASML erklärt am Rande der neuen Quartalszahlen, dass ihre EUV-Belichtungssysteme stetig zuverlässiger im Serieneinsatz mit 125 Wph sind. Im kommenden Jahr werden die Scanner auf bis zu 155 Wafer pro Stunde aufgewertet – dann startet bei vielen Partnern die großflächige Serienproduktion.
