Die Zukunft der Fertigungstechnologie steht bereits seit einigen Jahren vor zwei großen Herausforderungen. Zum einen benötigen die kleiner werdenden Strukturen neue Belichtungstechniken, die Wirtschaftlichkeit verlangt parallel dazu größere Wafer. ASML als einer der größten Fab-Ausrüster gab heute weitere Informationen preis.
